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電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案

發布日期:2021-07-23 22:54
信息摘要:
對于半導體制造行業,在制造過程中,高端電氣部件非常容易受到污染。即使是非常少的污染也會導致在接觸周邊空氣時產生腐蝕和氧化。實際上,計算機部件受到的威脅比人類更大,...
隨著半導體制程技術的飛速發展,芯片線寬已經進入納米級,相應的產品對半導體產品生產環境的要求越來越高,因此半導體潔凈室內AMC的控制標準也提高了很多。
1、潔凈室新風控制:在MAU內加裝化學過濾器,控制室外新風中的化學污染物;
2、潔凈室循環風控制:在FFU上方加裝化學過濾器,控制整個潔凈室內部的氣態化學污染物;
3、潔凈室機臺控制:在生產機臺上方加裝化學過濾器,機臺內部空間超潔凈度的氣態污染物控制。
電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案
電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案

編號

應用場地

可選裝置

功能

新風入口處

側開式凈化機組

去除外部環境進入潔凈室的AMC

空調機組內

HJ氣相過濾器

去除外部環境和回風進入潔凈室的AMC

FFU處

HJ氣相過濾器

去除送風過程進入潔凈室的AMC

潔凈室內

內循環凈化裝置

去除潔凈室內產生的AMC

回風段

HJ氣相過濾器/側開式凈化機組

去除潔凈室回風段含有的AMC

 
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關鍵詞: 半導體工業

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